产品信息 "BRONKHORST EL-FLOW Select F-201CV, Mass flow controller, 250sccm/SiH4/V8.2"
Bronkhorst Mass flow controller, 250sccm/SiH4/V8.2, EL FLOW Select F 201CV
Model: ELFLOWSelectF201CV Contidtion: Used Configuration: 250sccm/SiH4 Firmware: V8.2
General:
Digital Thermal Mass Flow Controller for Gases
High accuracy
Fast response, excellent repeatability
Optional Multi Fluid / Multi Range functionality
Virtually pressure and temperature independent
Compact design
Flow range (intermediate ranges available): min. 0,16…8 ml /min max. 0,5…25 l /min (based on N2)
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