产品信息 "MKS 1179BX 53C R 1 4 V SPC1, Digital Mass Flow Controller, SiH4 2000 sccm"
MKS Instruments. Inc. Digital Mass Flow Controller, SiH4 2000 sccm, 1179BX 53C R 1 4 V SPC1
Model: 1179BX53CR14VSPC1
Contidtion: New
Technical Data:
Viton
General:
MASS-FLO Controller
Measuring range end value (sccm): 2000sccm/SiH4
Fitting type: Cajon® 4-VCR® male
Normally closed (N.C.) valve
Connector: Profibus version male/female (2 x 9-pin Sub D)
Seal material: Viton® (standard)
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