1179BX 53C R 1 4 V SPC1, Viton, MKS Mass Flow Controller, Ar 4000 sccm

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MKS 1179BX 53C R 1 4 V SPC1, Viton, Massendurchflussregler, Ar 4000 sccm

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MKS Instruments. Inc. Mass Flow Controller, Ar 4000 sccm, 1179BX 53C R 1 4 V SPC1, Viton

Model: 1179BX53CR14VSPC1

Type: Viton

Contidtion: Used

General:

MASS-FLO Controller

Measuring range end value (sccm): 4000 sccm/Ar

Fitting type: Cajon® 4-VCR® male

Valve type: Normally closed valve (N.C.)

Connector: Profibus version (2 x 9 pin Sub D)

Seal material: Viton® (standard)

Operating temperature: 0-50°C

Input voltage: 20.5-31.5V DC

Maximum required current at start: 200 mA

Typical current required at steady state: 100 mA

Output impedance: <1 Ω

Output signal/minimum load: 0-5V DC (>10 kΩ)

Wichtiger Hinweis:
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