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MUEGGE MH3000S-210CV, Magnetron Sputter Head, t=1h

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Roth & Rau Muegge GmbH Magnetron Sputter Head, MH3000S 210CV

Modell: MH3000S210CV


Daten:
5100V
2.45GHz
900mA
3000W

Magnetron Sputter Heads für Beschichtungsanlagen

2x Directional Detector: MM 1002-110AB
ME0118P-035AB
ME0118P-037AB

Das Magnetronsputtern ist ein plasmagestütztes Abscheideverfahren, bei dem energiereiche Ionen auf ein Target beschleunigt werden. Die Ionen treffen auf das Target und die Atome werden von der Oberfläche ausgestoßen (oder gesputtert). Diese Atome wandern in Richtung des Substrats und werden in die wachsende Schicht integriert.


Wichtiger Hinweis:
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