206S-087470, 0130-047-05, OAI, Tabletop-Mask Aligner

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OAI 206S-087470, 0130-047-05, Tabletop-Mask Aligner

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Optical Associates Inc. Tabletop-Mask Aligner, 206S 087470, 0130 047 05

Modell: 206S087470

Typ: 013004705

Zustand: Gebraucht

Technische Daten:

Hybralign series 200

100-240V AC

1,25-2,5A

Allgemeines:

Dieser OAI Tabletop Mask Aligner Hybralign 200 besteht aus dem Basismodul mit der Herstellernummer 206S-087470 und der OAI UV-Lichtquelle mit der Herstellernummer 0130-047-05.

Beschreibung:

Das Modell 200 ist ein Tabletop-Mask Aligner, der nur wenig Platz im Reinraum benötigt. Es bietet eine wirtschaftliche Alternative für F&E oder eine Pilotproduktion in begrenztem Umfang. Durch den Einsatz eines innovativen Luftlager-/Vakuum-Chuck-Nivelliersystems wird das Substrat schnell und sanft nivelliert, um eine parallele Ausrichtung der Fotomaske und einen gleichmäßigen Kontakt über den Wafer während der Kontaktbelichtung zu gewährleisten. Das System ermöglicht eine Auflösung und Ausrichtungspräzision von einem Mikrometer.

Das Ausrichtmodul verfügt über Maskeneinsatzsätze und schnell austauschbare Wafer Chucks, die die Verwendung einer Vielzahl von Substraten und Masken ermöglichen, ohne dass spezielle Werkzeuge für die Neukonfiguration erforderlich sind. Das Ausrichtmodul enthält Mikrometer für die X-, Y- und Z-Achse.

Der Mask Aligner Modell 200 ist mit einer zuverlässigen OAI-UV-Lichtquelle ausgestattet, die kollimiertes UV-Licht im nahen oder tiefen UV mit Lampen von 200 bis 2000 Watt Leistung liefert. Optische Rückkopplungsschleifen mit zwei Sensoren sind mit dem Regler für konstante Intensität verbunden, um die Belichtungsintensität innerhalb von ±2 % der gewünschten Intensität zu steuern.

Spiegel: 360/400nm

Sensor: 365/400nm

Lampe: 500W NUV

Anode (+): down

Zubehör:

Wellschlauch L=450mm Außendurchmesser=85mm Innendurchmesser=70mm

3xKPC Flex Polyurethane Tube 06X04 130916 L=650mm

Dichtungssätze

Rotilabo-Micro-Magnetrührstäbchen L=8mm, zylindrisch, PTFE ummantelt

MEIJI 18101 S.PlanM4X/0.10 ∞/0

MEIJI 20429 S.PlanM10X0.25 ∞/0

MEIJI 14315 S.PlanM20X0.40 ∞/0

MEIJI L Plan EPI 50X/0.55 ∞/0 F=200 WD 7.5

Rohrstück L=80mm Außendurchmesser=90mm Innendurchmesser 1=80mm Innendurchmesser 2=73mm

Wichtiger Hinweis:
Im Lieferumfang enthalten sind nur Artikel und Zubehör, welche auch ausdrücklich in der Artikelbeschreibung aufgelistet oder auf den Fotos zu sehen sind. Sollten Sie Fragen zu Artikeln haben oder weitere Fotos benötigen, kontaktieren Sie uns bitte vor der Kaufbestätigung.

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