window.DataLayer = window.DataLayer || []; RENA InDop HT Inline doper with soft rollers | Lagerwerk

RENA InDop HT Inline doper with soft rollers

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Artikel-Nr.: LW24290
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Artikel: "RENA InDop HT Inline doper with soft rollers"

 InDop HT Inline doper with soft rollers; Deposition of phosphoric acid, NIAK - 5 lanes for 156 mm wafers

The InDop system applies a thin and homogeneous layer of phosphoric acid
on the wafers before the inline diffusion process. the system offers optimal line
integration with the process equipment and automation thus simplifying
the set-up of your front end. Using soft rollers to apply the phosphoric acid, it
combines a robust process and low cost of ownership with an extremely gentle
wafer transport system for the highest mechanical and process yields.

 

Areas of application:

  • roll-on application of phosphoric acid for inline phosphorus diffusion
  • Designed for multi- and monocrystalline wafers
  • automation systems available for loading and transfer to the inline furnace with flip and buffer options

Betriebsstunden: 0 

 

Specific data:

Maximum Capacity [Wafer/h] 3000
Throughput [Wafer/h] 2.400
Uptime [%] 95
Breakage rate [%] 0,05
MTBF [hour] 800
MTTR [hour] 2,0
Wafer orientation [-] Sunny side UP
Noise level [dB] 70
Speed [m/min] 1,80

 

 

 

 

 



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