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BROOKS ASYST Spartan EFEM, Sorter, Wafer Front-End Module, 300mm
Bruttopreis 63.992,25 €
53.775,00 € *
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| Artikel-Nr.: | LW43278 |
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| Artikelzustand: | Gebraucht |
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Artikel: "BROOKS ASYST Spartan EFEM, Sorter, Wafer Front-End Module, 300mm"
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Modell: ASYSTSpartanEFEM
Typ: Sorter
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allgemeines:
300-mm EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Minienvironment und integriertem Wafer-Transfer-Roboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es besitzt drei Loadports, ein Mini-Environment mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfassende Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen zur Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein voll integrierter Wafer-Transfer-Roboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an nachfolgende Prozessmodule übergibt.
Baujahr: 27.12.2010
inkl. CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbücher (9701-3060-01 Rev G)
Wichtige Hinweise:
Im Lieferumfang enthalten sind ausschließlich die in der Artikelbeschreibung aufgeführten sowie auf den Produktfotos dargestellten Teile und Zubehörartikel. Sollten Sie Fragen zum Lieferumfang haben oder zusätzliche Fotos wünschen, kontaktieren Sie uns bitte vor Abschluss des Kaufs.
Dieser Artikel wurde vor dem 13.12.2024 in Verkehr gebracht. Daher unterliegt er nicht den zusätzlichen Kennzeichnungspflichten gemäß der neuen EU-Verordnung über die allgemeine Produktsicherheit (GPSR). Bei Fragen steht Ihnen unser Kundenservice jederzeit gerne zur Verfügung.
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