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BROOKS ASYST Spartan EFEM, Sorter, Wafer Front-End Module, 300mm
| Réf. d'article: | LW43278 |
| Product Condition: | Used |
| Shipping: | Express delivery available |
| Warranty: | 12 mois |
| Available Stock: | 1 |
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter Model:...plus
Informations sur le produit "BROOKS ASYST Spartan EFEM, Sorter, Wafer Front-End Module, 300mm"
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Model: ASYSTSpartanEFEM
Type: Sorter
Condition: Used
Technical Data:
100-240V AC
50/60Hz
10A
General:
300 mm EFEM with 3 load ports, clean room mini-environment and integrated wafer transfer robot
This device is an Equipment Front End Module (EFEM) from the ASYST Spartan series, developed for the fully automated handling of 300 mm silicon wafers in semiconductor manufacturing.
It has three load ports, a mini environment with ULPA air filters, internal lighting, comprehensive safety controls and all the necessary interfaces for system integration.
In addition, a fully integrated wafer transfer robot is installed, which removes wafers from the FOUP/cassette load ports, separates them and transfers them precisely to subsequent process modules.
Year of manufacture: 27 December 2010
Includes CD with operating, service and installation manuals (9701-3060-01 Rev G)
Avis important :
La livraison comprend uniquement les pièces et accessoires mentionnés dans la description de l'article et présentés sur les photos du produit. Si vous avez des questions concernant le contenu de la livraison ou si vous souhaitez obtenir des photos supplémentaires, veuillez nous contacter avant de finaliser votre achat.
Cet article a été mis sur le marché avant le 13/12/2024. Il n'est donc pas soumis aux obligations d'étiquetage supplémentaires prévues par le nouveau règlement européen sur la sécurité générale des produits (GPSR). Notre service clientèle se tient à votre disposition pour toute question.
Tous les noms de marque et logos mentionnés sont la propriété de leurs détenteurs respectifs. La société Lagerwerk GmbH n'a aucun lien commercial direct avec les fabricants mentionnés sur ce site web et n'agit pas en tant que distributeur ou représentant agréé de ceux-ci.
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