TRUMPF HÜTTINGER 1880203, TruPlasma RF 3020, HF generator

Bruttopreis 3 298,39 €
2 771,76 € *

Prix avec TVA plus frais de port

Immédiatement disponible

Badge stands for only one item left
Réf. d'article: LW43816
Product Condition: Used
Shipping: Express delivery available
Warranty: 12 mois
Available Stock: 1
TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG HF generator, 1880203, TruPlasma RF 3020   Model: 1880203...plus
Informations sur le produit "TRUMPF HÜTTINGER 1880203, TruPlasma RF 3020, HF generator"
TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG HF generator, 1880203, TruPlasma RF 3020
 
Model: 1880203
Type: TruPlasmaRF3020
Condition: Used
 
Technical Data:
400V-480V
50/60Hz
41.8A-34.5A
20 kW
 
General:
Features
  • Arc Management with innovative Arc Recipe and Arc Counter
  • Smart Auto Frequency Tuning
  • Best in class wall-plug efficiency of > 80 %
  • Highest accuracy and stability down to 1 W
  • Patented CombineLine Technology with cable lenght indepency
 
Technical data
  • Output frequency 13.56 MHz
  • Sync interfaces
  • Analog / digital
  • RS 232 / RS 485
  • Profibus
  • IP 20
  • Maximum water pressure 7 bar
  • Minimum pressure difference 2 bar
  • Minimum flow rate 20 l/min
  • Coolant temperature 5 °C – 35 °C
  • Overall efficiency > 75 %
  • Certificates / standards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
  • Outside temperature 5 °C – 40 °C
  • Humidity 5 % – 85 %
 
Semiconductor Applications:
  • Chemical Vapor Deposition (CVD)
  • Atomic Layer Deposition
  • Atomic Layer Etch
  • Reactive Ion Etching
High Power Display Applications
  • Dry Etch Process
  • Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)
  • CCP and ICP chambers
 
 

Avis important :
La livraison comprend uniquement les pièces et accessoires mentionnés dans la description de l'article et présentés sur les photos du produit. Si vous avez des questions concernant le contenu de la livraison ou si vous souhaitez obtenir des photos supplémentaires, veuillez nous contacter avant de finaliser votre achat.

Cet article a été mis sur le marché avant le 13/12/2024. Il n'est donc pas soumis aux obligations d'étiquetage supplémentaires prévues par le nouveau règlement européen sur la sécurité générale des produits (GPSR). Notre service clientèle se tient à votre disposition pour toute question.

Tous les noms de marque et logos mentionnés sont la propriété de leurs détenteurs respectifs. La société Lagerwerk GmbH n'a aucun lien commercial direct avec les fabricants mentionnés sur ce site web et n'agit pas en tant que distributeur ou représentant agréé de ceux-ci.
Liens supplémentaires vers "TRUMPF HÜTTINGER 1880203, TruPlasma RF 3020, HF generator"
FAQ