ASML 4022.642.02551, EFU_X1, Exhaust Fan Unit - YieldStar S-200B

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Advanced Semiconductor Materials Lithograph Holding N.V. Exhaust Fan Unit - YieldStar S-200B, 4022 642 02551, EFU X1
 
Model: 402264202551
Type: EFUX1
Condition: Used
 
 
General:
ASML YieldStar S-200B – EFU (Exhaust Fan Unit) of a ASML Yieldstar S-200B
 
  • Exhaust fan for controlled extraction of process and ambient air
  • Integrated radial fan with intake and outlet connection
  • Used for temperature and particle control
  • Transfer points for air ducts to EFEM/MSMR area
  • Robust stainless steel housing
 
 

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