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BROOKS ASYST Spartan EFEM, Sorter, Wafer Front-End Module, 300mm
Bruttopreis 63.992,25 €
53.775,00 € *
Precios zzgl. IVA legal más gastos de envío
Disponible de inmediato
| N.º artículo: | LW43278 |
| Product Condition: | Used |
| Shipping: | Express delivery available |
| Warranty: | 12 meses |
| Available Stock: | 1 |
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter Model:...más
Información del producto "BROOKS ASYST Spartan EFEM, Sorter, Wafer Front-End Module, 300mm"
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Model: ASYSTSpartanEFEM
Type: Sorter
Condition: Used
Technical Data:
100-240V AC
50/60Hz
10A
General:
300 mm EFEM with 3 load ports, clean room mini-environment and integrated wafer transfer robot
This device is an Equipment Front End Module (EFEM) from the ASYST Spartan series, developed for the fully automated handling of 300 mm silicon wafers in semiconductor manufacturing.
It has three load ports, a mini environment with ULPA air filters, internal lighting, comprehensive safety controls and all the necessary interfaces for system integration.
In addition, a fully integrated wafer transfer robot is installed, which removes wafers from the FOUP/cassette load ports, separates them and transfers them precisely to subsequent process modules.
Year of manufacture: 27 December 2010
Includes CD with operating, service and installation manuals (9701-3060-01 Rev G)
Aviso importante:
El volumen de suministro incluye exclusivamente las piezas y los accesorios que se indican en la descripción del artículo y se muestran en las fotos del producto. Si tiene alguna pregunta sobre el volumen de suministro o desea fotos adicionales, póngase en contacto con nosotros antes de finalizar la compra.
Este artículo se comercializó antes del 13/12/2024. Por lo tanto, no está sujeto a los requisitos de etiquetado adicionales según el nuevo Reglamento de la UE sobre seguridad general de los productos (GPSR). Si tiene alguna pregunta, nuestro servicio de atención al cliente estará encantado de atenderle en cualquier momento.
Todas las marcas y logotipos mencionados son propiedad de sus respectivos titulares. Lagerwerk GmbH no tiene ninguna relación comercial directa con los fabricantes que aparecen en este sitio web y no actúa como distribuidor o representante autorizado de los mismos.
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