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TRUMPF HÜTTINGER 1880203, TruPlasma RF 3020, HF generator

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$ 3,206.09 *

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商品编号: LW43816
Product Condition: Used
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TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG HF generator, 1880203, TruPlasma RF 3020   Model: 1880203... 更多
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产品信息 "TRUMPF HÜTTINGER 1880203, TruPlasma RF 3020, HF generator"
TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG HF generator, 1880203, TruPlasma RF 3020
 
Model: 1880203
Type: TruPlasmaRF3020
Condition: Used
 
Technical Data:
400V-480V
50/60Hz
41.8A-34.5A
20 kW
 
General:
Features
  • Arc Management with innovative Arc Recipe and Arc Counter
  • Smart Auto Frequency Tuning
  • Best in class wall-plug efficiency of > 80 %
  • Highest accuracy and stability down to 1 W
  • Patented CombineLine Technology with cable lenght indepency
 
Technical data
  • Output frequency 13.56 MHz
  • Sync interfaces
  • Analog / digital
  • RS 232 / RS 485
  • Profibus
  • IP 20
  • Maximum water pressure 7 bar
  • Minimum pressure difference 2 bar
  • Minimum flow rate 20 l/min
  • Coolant temperature 5 °C – 35 °C
  • Overall efficiency > 75 %
  • Certificates / standards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
  • Outside temperature 5 °C – 40 °C
  • Humidity 5 % – 85 %
 
Semiconductor Applications:
  • Chemical Vapor Deposition (CVD)
  • Atomic Layer Deposition
  • Atomic Layer Etch
  • Reactive Ion Etching
High Power Display Applications
  • Dry Etch Process
  • Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)
  • CCP and ICP chambers
 
 

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